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金属表面抛光机高精度去毛刺之光刻加工

发布时间:2019-07-11发布人:Stabswache

  光刻加工又称光刻蚀加工或刻蚀加工,简称刻蚀。当前,光刻加工技术主要用于制作集成电路、微型机械等高精度微细线条所构成的高密度微细复杂图形,是纳米加工的一种重要加工手段,用于金属表面抛光机抛光。光刻加工的原理近似于照像制版,其关键技术是原版侧作、曝光和刻蚀。光刻加工可分为两个阶段,第一阶段为原版制作,生成徽细复杂图形的工作原版或工作掩膜,为光刻加工时用;第二阶段为光刻。

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