离子束溅射去除加工可简称为离子束去除加工,其加工原理是利用离子溅射,主要是一次溅射和二次溅射,它是一种***典型的原子、分子加工单位的微细加工方法和超精密加工方法。离子束去除加工装置的结构原理图,它由双等离子体离子源、双真空室、聚装置、工作台、电源等组成。***先把Ar、Kr、Xe等情性气体充人低真空(1.3Pa)的离子室中,通过阴极2与阳极5之间的低气压直流电弧放电,使之在阳极以上的空间被电离,成为等离子体。中间电极3的电位比阳极5低,两者都由软铁制成,和电磁线圖4形成很强的轴向磁场,所以以中问电极为界,在阴极和中间电极、中间电极和阳极之间形成两个等离子体区。前者的等离子体密度较低,后者在非均匀强磁场的压缩下,在阳极孔处形成了高密度的等离子体。经过控制电极7和引出电极8,只将正离子拉出呈束状并加速,从阳极小孔进入高真空区(13×10-6Pa),再通过静电透镜所构成的聚焦装置10聚成高密度细束的离子束,轰击工件表面。工件装于工作台上的摆动装置或回转装置上,可进行双坐标直线位移、绕垂直轴的转动和绕水平轴的摆动。离子束溅射去除加工可用于非球面透镜的成形、金刚石刀具和压头的刃唐、大规模集成电路芯片图形的刻蚀等,可加工金属和非金属材料。所谓离子铣、离子磨(离子减薄)、离子研磨抛光等都是离子束溅射去除的具体加工方法。