第二次世界大战后的50年代后期,美国***先开始进行超精密加工机床方面的研究,当时因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜,因而急需开发制作反射镜的超精密加工技术和超精密加工机床。因这种技术主要是军工需要,故以**和军方的有关研究所为主导,进行了强有力的超精密加工技术和超精密加工机床的开发。在60年代超精密专用机床开始商品化,出现了加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用零件的超精密加工机床。到80年代末,超精密加工机床综合性技术趋于成熟,而且从国防工业扩展到民用工业,如加工计算机的磁盘、复印机的硒鼓、录像机的磁鼓、激光打印机的多面棱镜等,因此,要求发展高生产率的中小型超精密机床。目前,美国从事超精密加工制造比较有名的公司、企业至少有30家,其中***具代表性并取得重大成果的是美国联合碳化物公司和劳伦斯·里佛莫尔**实验室。超精密加工技术的发展使美国在航空、航天、核能方面取得了许多重大的成就。
 

　　美国在超精密机床生产方面居世界领先地位。如LJML**实验室的大型光学金刚石车床和3型大型金刚石车床,是现在世界公认的水平***高的、达到当前技术***前沿的超精密车床。由于美国超精密机床水平较高,商品生产不仅国内使用,还有相当多的出比较著名的有More公司的M18AG型超精密非球面车床和Peum公司的MSC325型超精密非球面车床等。
 

　　由于各国对超精密加工技术都保密、不予外传,故欧洲的主要园家如德国、英国、法园瑞士、意大利、荷兰等**都投入很大人力物力进行超精密加工技术和超精密机床的开发研究。这些**生产的中小型超精密机床有较高水平,近年来又投人力量研究开发大型超精密金刚石车床。如,在欧洲以具有研究开发超精密金刚石切削加工机械传统的荷兰的菲利浦公司的中央研究所为中心,研究开发CNC超精密金刚石车床 COLATH,1908年以后用于本司的高精度零件的加工。英国Cranfield大学与 British Science and Engineering Research Council(SERC)签定合同研制开发X射线天体鳃远镜用大型超精密金刚石车床。
 

　　日本研究超精密加工技术和超精密加工机床起步较晚,70年代中期才开始,而且是根据电子和光学等民用需要开始研究的。但是,由于得到有关方面的重视,投入大量的人力物力去开发,有计划地引进先进技术并深入剖析,从面使研制的产品很快达到甚至超过引进产品的水平,因此在发展速度上迫上美国,而且在技术上可以与美国抗衡,并且民用工业向精密化发展。特别是日本在80年代开发小型超精密CNC车床方面已走在世界的前列,约有20家厂商如丰田工机、东芝机槭、不二越、日立精工、理研制钢、日本精密研究所等都研究生产小型CNC超精密车床。由于许多机床采用了高分辨率的数控系统和高分辨率的激光干涉测量系统以及其他一些先进技术,因而可以加工多种高糖度复杂球面。一些作为商品出售的小型精密车床,其加工糟度已超过0.1nm,加工表面粗糙度要低于但在大型超糟密金刚石车削机床的研究与开发方面,远远落后于欧美,至今未见有关的报导。日本有关方面正大声疾呼在这方面积极赶上欧美。
 

　　我国从60年代开始发展精密和超精密机床,经过30多年的努力,我国的超精密机床现在已有一定的水平。沈阳、济南、上海等也都有超精密车床产品;1987年北京机床研究所又研制成功空气轴承主轴的加工球面的超精密车床。我国超精密机床近年虽有较快发展和提高,但和工业发达**相比还有较大差距。主要表现在超精密非球曲面车床还不能生产;机床的精度一般要比国外的低一个等级;机床精度的保持时间大大低于国外;精密空气主轴、微位移机构、精密CNC伺服系统,机床热变形和精密恒温控制、结构稳定性和防振隔振技术等都亟待深入研究。因此,对精度要求高的精密和超精密机床,还不得不从国外进日。
 

　　超精密机床进一步发展对精度提出新的要求,美国POMA计划可作为代表。80年代,美国 Union Carbide公司、 Moore公司和美国空军兵器研究所等制订了一项有意义的计划,其目标是将直径800m的大型球面反射镜的形状精度控制0lym以内,将机床的运动误差降低到十分之一。由于该项目的目标为 Point One Micrometer Accuracy(0.1m级精度),因此称为POMA计划,该计划举世闻名,所产生的影响十分深远。表51是POMA计划对机床精度的具体要求,可见对机床精度要求甚高。